Document d'archives : Code SIRET : 19690192000013, Raison sociale du bénéficiaire : INSTITUT NATIONAL DES SCIENCES APPLIQUEES DE LYON - INSA, objet de...

Titre :

Code SIRET : 19690192000013, Raison sociale du bénéficiaire : INSTITUT NATIONAL DES SCIENCES APPLIQUEES DE LYON - INSA, objet de la subvention : Developpement et optimisation de la spectrometrie de masse des ions secondaires a haute resolution en profondeur. Application a la caracterisation des couches nanometriques enterrees ou superficielles pour le CMOS ultime, montant : 119 879,81

Cote :

Décision n : 1999 S 386

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