Document d'archives : Code SIRET : 19690192000013, Raison sociale du bénéficiaire : INSTITUT NATIONAL DES SCIENCES APPLIQUEES DE LYON - INSA, objet de...
Titre :
Code SIRET : 19690192000013, Raison sociale du bénéficiaire : INSTITUT NATIONAL DES SCIENCES APPLIQUEES DE LYON - INSA, objet de la subvention : Developpement et optimisation de la spectrometrie de masse des ions secondaires a haute resolution en profondeur. Application a la caracterisation des couches nanometriques enterrees ou superficielles pour le CMOS ultime, montant : 119 879,81
Cote :
Décision n : 1999 S 386
Thèmes :
aide à la recherche, fonds de la recherche, recherche, technologie